真空控制装置

在一种真空控制装置中，该真空控制装置带有至少一个用于将真空输出到真空消耗器处的基础单元13，其中，基础单元13具有用于供给和工作联接件的供给和工作接口20以及用于安装在供给和工作接口20处的供给和工作联接件15，16，28a，28b；用于排气排出单元29，31的排气接口30以及至少一个用于安装在排气接口30处的排气排出单元29，31；用于吹气控制器32，33的吹气控制接口40以及至少一个用于安装在吹气控制接口40处的吹气控制器32，33；以及用于与外部的电子控制装置通讯的通讯接口50，供给和工作联接件具有用于安装多个结合成组件的基础单元13的共用联接件16以及用于安装单个基础单元13的专用联接件15。