出售专利一种氧化锌和\/或氧化锌合金的湿法刻蚀方法CN201310295575.6

出售专利--姓名:王玉超--专利号:CN201310295575.6--申请人:中山大学 --其他要求:本发明属于无机化学领域，公开了一种氧化锌和/或其合金材料的湿法刻蚀方法,该方法包括以下步骤:首先制作氧化锌以及其合金材料的掩膜,然后通过过氧化氢溶液进行刻蚀。上述刻蚀方法中,由于采用了过氧化氢溶液作为刻蚀剂,因此可以保证刻蚀表面平整,刻蚀速率可控,并且只需要改变过氧化氢溶液的浓度,就可以在保证刻蚀表面平整光滑的前提下,得到不同的刻蚀速率,操作非常简单；而且，还可以通过控制刻蚀时间来控制刻蚀深度。