出售专利一种高附着力氮氧钛铝\/钛铝复合膜的制备方法CN201410127306.3

出售专利--姓名:马女士--专利号:CN201410127306.3--申请人:沈阳大学 --其他要求:一种高附着力氮氧钛铝/钛铝复合膜的制备方法，其制备方法包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、基体工件的选择与前处理；3、基体工件悬挂方位的确定；4、真空加热处理；5、预轰击工艺的确定；6、沉积工艺的确定。本发明提高了膜层与基体之间的附着力，同时提高了膜层硬度，并具有良好的稳定性和可重复性。