出售专利一种高分辨率窄波段光谱在线膜厚监控系统及分光装置CN200910084709.3

出售专利--姓名:王伟志--专利号:CN200910084709.3--申请人:北京奥博泰科技有限公司 贾秋平 --其他要求:本发明公开了一种高分辨率窄波段光谱在线膜厚监控系统及分光装置，该系统包括光源、发射单元、监控片、接收单元、光谱分光装置、CCD阵列信号转换系统和控制采集单元。本发明的光谱分光装置包括入射狭缝、第一准直物镜、平面光栅、第二准直物镜、平面反射镜。本发明高分辨率窄波段光谱在线膜厚监控系统，将光谱分光装置与线阵CCD相结合，实现了动态的监控波长调整，形成以监控波长点为中心的对称的左右各数十纳米的光谱带，在每一监控点得到近一百纳米的光谱信号，光谱数据量大，波长分辨率高，评价函数计算精确，为光谱监控系统在光学镀膜过程中实现高精度自动镀膜提供了一种科学的方法。