一种光刻机的自动调焦方法

一种光刻机的自动调焦方法，涉及包括图像的平均调焦评价函数的计算方法和调焦机构的自动运行方法。其中平均调焦评价函数的计算方法主要采用分块的形式，以变步长平移子块，粗调焦时平移步长增大，细调焦时平移步长减小，并采用连续多帧图像的多重平滑方法得到最终的平均调焦评价函数。调焦机构的自动运行方法采用改进的爬山法，将当前位置的平均调焦评价函数与前两个步长的平均调焦评价函数进行比较，根据比较结果决定调焦机构正向运行或者反向运行。再根据调焦步长与所要求的调焦精度的关系判断是否调焦结束。本发明方法具有运算速度快、灵敏度高、精度高、抗干扰能力强、稳定性好的特点。