MEMS器件

本发明提供一种MEMS器件，该MEMS器件在保持结构体的机械特性的同时降低了电阻值，并具有优良的工作特性。该MEMS器件具有：在硅基板1上形成的由多晶硅构成的固定电极10；可动电极20，其与形成在硅基板1上的氮化膜3隔开间隙并以机械可动的状态配置，而且由多晶硅构成；以及配线层叠部，其在可动电极20周围形成，并以覆盖固定电极10的一部分的方式形成，该配线层叠部按顺序层叠有第一层间绝缘膜13、第一配线层23、第二层间绝缘膜14、第二配线层24以及保护膜19，固定电极10的被上述配线层叠部覆盖的部分转化为了硅化物，形成有硅化物部分25。