相对压力传感器

一种相对压力传感器，包括：压力测量变换器11，该压力测量变换器具有半导体芯片12的测量膜和平台13，其中，在测量膜和平台二者之间形成基准压力腔；支撑主体14，其中平台借助承压粘附体9与该支撑主体相连接，其中基准压力路径延伸穿过两个前述元件进入到基准压力腔中；传感器外部主体20，在该传感器外部主体中形成变换器腔21，该变换器腔21具有第一开口和第二开口23，其中通过该第一开口将压力测量变换器11带入到变换器腔中并且借助支撑主体将所述压力测量变换器11保持在该变换器腔21中，其中支撑主体压密地密封第一开口，并且其中测量膜的背离基准压力腔的一侧通过第二开口与介质压力可接触；其中基准压力路径具有充气的密封段，该充气的密封段从基准压力腔延伸至少穿过承压粘附体9，其中密封段借助柔性镀金属塑料箔19气密地密封。