压力测量装置

本发明公开了一种压力测量装置，其具有基座13，13’、由半导体制成的设置在基座13，13’上且与基座13，13’相连的中间件15，15’、和设置在中间件15，15’上并与中间件15，15’相连的半导体压力传感器17，该压力传感器具有支座19和测量薄膜21。压力测量装置可靠地保护敏感的测量薄膜21抵抗机械应变。在中间件15，15’中提供在中间件15，15’的内部延伸的环形分布的凹口33，该凹口围绕中间件15，15’的第一圆柱区段35以及在基座侧与第一圆柱区段邻接的第二圆柱区段37。第二圆柱区段37的外径比第一圆柱区段35的要大。凹口向着中间件15，15’朝向基座13，13’的侧面打开。第二圆柱区段37具有朝向基座13，13’且位于基座13，13’暴露的端面上的端面，该端面形成连接面，中间件15，15’通过该连接面与基座13，13’牢固地机械连接。