涂敷方法和涂敷装置

本发明提供一种涂敷方法和涂敷装置，即使在涂敷液例如抗蚀剂液的供给量较少的情况下也能在基板的表面上均匀地形成涂敷膜。涂敷方法包括：预湿工序，将预湿液供给到基板W的中心，并且使基板旋转而使预湿液扩散到第1基板的整个表面上；涂敷膜形成工序，向供给了预湿液的基板供给涂敷液例如抗蚀剂液，使该涂敷液干燥，从而在上述第1基板的表面形成涂敷膜。采用比涂敷液的表面张力高的混合液体作为预湿液，通过使能够溶解涂敷膜成分例如抗蚀剂成分的溶剂、和表面张力高于该溶剂的高表面张力液体混合，获得上述混合液体。分别独立地准备溶剂和高表面张力液体，在供给预湿液时，使溶剂与高表面张力液体混合。