旋转中心测定装置及方法

本发明涉及半导体自动化设备领域，尤其涉及一种旋转中心测定装置及方法，包括主体、电源系统、数据传输系统、控制系统以及至少两个角加速度传感器，所述目标固定于所述主体上且二者同心，所述主体固定于旋转台上，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别设于所述主体上，所述电源系统为所述角加速度传感器供电，所述角加速度传感器测得的一组角加速度值通过数据传输系统传送至所述控制系统，所述控制系统根据该组角度加速度值、旋转台的角速度以及各角加速度传感器所处的位置计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差以进行补偿。