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光刻胶用剥离液组合物及其制备和应用

光刻胶用剥离液组合物及其制备和应用

  • 专利类型:发明专利
  • 有效期:不限
  • 发布日期:2020-03-27
  • 技术成熟度:未知
交易价格: ¥面议
  • 法律状态核实
  • 签署交易协议
  • 代办官方过户
  • 交易成功

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  • 技术(专利)类型 发明专利
  • 申请号/专利号 CN201210371644.2 
  • 技术(专利)名称 光刻胶用剥离液组合物及其制备和应用 
  • 项目单位 京东方科技集团股份有限公司
  • 发明人 刘陆 吕志军 栗首  
  • 行业类别 物理
  • 技术成熟度 未知
  • 交易价格 ¥面议
  • 联系人 京东方科技集团股份有限公司
  • 发布时间 2017-01-18  
  • 01

    项目简介

    本发明涉及一种光刻胶用剥离液组合物及其制备和应用。所述组合物的主要组分及其质量份数为:a组分0.3-5份,b组分2-15份,c组分0.05-5份,d组分2-15份;所述a组分为含氟的羧酸或其盐,所述b组分为烷醇胺类或季胺氢氧化物中的至少一种碱性化合物,所述c组分为含硫防腐蚀剂,所述d组分为极性有机溶剂。本发明的剥离液组合物能很好的剥离光刻胶,而且,对金属布线有良好的防腐蚀效果。
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  • 02

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