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倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器

倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器

  • 专利类型:发明专利
  • 有效期:不限
  • 发布日期:2020-03-27
  • 技术成熟度:未知
交易价格: ¥面议
  • 法律状态核实
  • 签署交易协议
  • 代办官方过户
  • 交易成功

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  • 技术(专利)类型 发明专利
  • 申请号/专利号 CN201210293203.5 
  • 技术(专利)名称 倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器 
  • 项目单位 精工爱普生株式会社
  • 发明人 吉澤隆彦  
  • 行业类别 物理
  • 技术成熟度 未知
  • 交易价格 ¥面议
  • 联系人 精工爱普生株式会社
  • 发布时间 2017-01-18  
  • 01

    项目简介

    本发明涉及倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器。所述倾斜结构体的制造方法包括:工序(a),在基板的上方形成牺牲膜;工序(b),形成第一膜,所述第一膜包括与基板连接的第一部分、位于牺牲膜的上方的第二部分、位于第一部分及第二部分之间的第三部分,并且第三部分的一部分、或者在第二部分和第三部分的边界部分处,具有与第一部分相比膜厚较薄的区域;工序(c),去除牺牲膜;工序(d),在工序(c)之后,在膜厚较薄的区域处使第一膜弯曲,并使第一膜的第二部分相对于基板而倾斜。
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