曝光装置

提供一种曝光装置，具备进行曝光处理的曝光处理部与进行对位的对准平台部，能够尽量使对准平台小型化、低成本化。将曝光光从光照射部1照射于光罩M，在准直显微镜10显像光罩标记MAM的投影像，求出其位置坐标并存储。一方面，在对准平台AS上载置工件W，以工件标记WAM所形成的间隔单步进给平台AS或准直显微镜4，利用准直显微镜4以排列的方式检测工件标记WAM，存储其位置坐标。顺便，工件搬运机构23将工件W搬运至曝光平台WS，进行对位以使光罩标记MAM与工件标记WAM的位置一致，一面移动曝光平台WS，一面依次曝光工件W上的各曝光区域。