抗气泡液体控制装置

本发明公开了一种抗气泡液体控制装置，其特征在于，抗气泡液体控制装置是在透镜组和基底之间设置的装置，通过在注液腔和回收腔外围设置阻隔结构、液体密封带和辅助密封带，在维持液体更新带走气泡的同时抑制边界气泡的生成。阻隔结构可促使注液腔输入的液体更多的流向回收腔；液体密封带根据流场压力分布的特点，在注液腔和回收腔外围施加促使液体向内聚拢的非均匀液流，具备抑制泄漏和流动牵引双重作用；辅助密封带则用于基底快速运动工况下可能泄漏液体的吸收，并能对边界流场施加一定的液体补偿。此外，本装置采用与观测区域介质相同的液体，可避免不同流体介质之间的相互渗透与扩散，具备了良好可靠性和适应性。