测量系统、方法和光刻设备

本发明公开了一种测量系统、方法和光刻设备。所述测量系统配置成得出物体的位置量，所述测量系统包括：至少一个位置量传感器，配置成提供各自的位置量测量信号；位置量计算器，配置成由所述位置量测量信号确定所述物体的位置量，其中所述位置量计算器包括扭转估算器，所述扭转估算器配置成估算所述物体的扭转，所述位置量计算器配置成针对于所述估算的扭转来校正所述物体的已确定的位置量。