具有带传导性互连件的密封件的热风速仪流量传感器装置

本发明涉及具有带传导性互连件的密封件的热风速仪流量传感器装置，具体而言，提供了一种流量传感器装置和方法。本发明提供了一种带有传导性互连件的密封件，该密封件包括安装在外壳上的质量流量传感元件，质量流量传感元件包含厚膜和或薄膜桥接结构，用于感测流量管中的介质例如质量流。这种密封件有效地将丝焊焊盘及电气连接与所感测的介质隔离开。无论是液体或气体的介质都可能包含离子，其最终会污染质量流量传感元件的顶部。带有传导性互连件的密封件的使用因而密封住电气连接，并防止了暴露于所感测的介质。