辐射敏感树脂组合物、叠层体及其制造方法、以及半导体器件

本发明涉及一种树脂组合物、在基板上叠层有由该树脂组合物形成的树脂膜的叠层体、以及包含该叠层体的半导体器件，其中，所述树脂组合物含有粘合剂树脂A、具有酸性基团的化合物B、有机溶剂C及化合物D，所述化合物D具有选自硅原子、钛原子、铝原子及锆原子中的1种原子、并具有键合在该原子上的烃氧基或羟基，具有酸性基团的化合物B为选自脂肪族化合物、芳香族化合物及杂环化合物中的至少1种，且相对于粘合剂树脂A100重量份，化合物B和化合物D的总含量为10～50重量份。