超声波清洗装置及其功率控制方法

本发明的课题在于提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置。为此，超声波清洗装置具备被清洗物11、清洗液12、超声波振子13、振荡器14、电源部16以及功率计15，振荡器14具有：振荡部17；控制部18，其进行控制以使得由振荡部17振荡产生的第1功率变为设定功率值并向超声波振子输出；检测部19，其检测由控制部18向超声波振子13输出的第2功率；和运算部20，运算部20具有如下功能：导出利用校正值α对第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用校正值β对由功率计15测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部21。