用于将四氯化硅转化为三氯硅烷的方法

本发明涉及用于将STC转化为TCS的方法，该方法通过将包含STC和氢气的反应物气体引入到温度为1000℃-1600℃的反应器的反应区内实现，其中，反应区通过位于反应区外部的加热器加热，然后将形成的包含TCS的产物气体冷却，条件为在0.1ms-35ms内将其冷却至700℃-900℃的温度，其中反应物气体由产物气体通过以逆流工作的热交换器加热，其中反应器和热交换器形成单一气密的组件，其中该组件由选自由以下组成的组中的一种或多种陶瓷材料构成：碳化硅、氮化硅、石墨、SiC涂覆的石墨以及石英玻璃。