有源矩阵基板的制造装置和制造方法以及显示面板的制造装置和制造方法

一种检测矩阵状地设有多个像素的有源矩阵基板的短路缺陷，修正该短路缺陷的有源矩阵基板的制造装置，具备：台座30a，其载置成为有源矩阵基板的被检查基板19；缺陷像素检测部40a，其对载置于台座30a的被检查基板19输入检查用信号，电检测发生了短路缺陷的缺陷像素的坐标；以及缺陷位置确定部50，其对载置于台座30a的被检查基板19输入检查用信号，使由缺陷像素检测部40a检测出的缺陷像素发热，并且用远红外区热像感知该像素缺陷的发热，确定缺陷像素的短路缺陷的位置。