流量限制器

具有第一盘和第二盘的流量限制器，其中第一盘具有至少一个入口和至少一个出口以及流动路径，第二盘没有流动路径。第一盘和第二盘是叠置在一起的。质量流量控制器包括输入、输出、流动路径、压力传感器以及上述流量限制器。