加速度传感器的单片闭环集成电路

本发明涉及一种加速度传感器的单片闭环集成电路，其包括电荷放大器、整流器、低通滤波器、缓冲器、PID电路、高压驱动电路；电荷放大器与加速度传感器的输出端相连接；整流器与电荷放大器的输出端相连接；低通滤波器与整流器的输出端相连接；缓冲器与低通滤波器的输出端相连接；PID电路与缓冲器的输出端相连接；高压驱动电路的输入端与PID电路的输出端相连接，高压驱动电路的输出端与加速度传感器的敏感结构相连接。本发明的单片闭环集成电路适用于加速度传感器，其可以很好的改善加速度传感器的电容变化的非线性和频率特性。