平面型精密二维微位移台

本发明提供了一种平面型精密二维微位移台，属于超精密加工技术以及光电技术领域。本发明所述滑架竖直方向的四个面每一个面上设有两个平行的光轴，X向的光轴设置在顶板上面的通孔内，光轴与顶板上通孔的孔壁之间设有直线导套，Y向的光轴设置在底座上面的通孔内，光轴与底座上的通孔的孔壁之间设有直线导套，在底座一侧的X向的中间位置安装有高精度测微头，顶板一侧的Y向的中间位置安装有高精度测微头。由于本发明的滑架使得X-Y向调整在同一平面内实现，减小了二维微位移调整装置的高度，简化了二维微位移调整装置的结构，增加了承受载荷，节省了制造成本。本发明主要用于超精密加工中的精确对刀，光电仪器的精密调整。