一种可调谐拍波线扫描的表面三维干涉测量系统

本发明公开了一种可调谐拍波线扫描的大量程高分辨率表面三维干涉测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、两个光纤隔离器、三个光阑、三个自准直镜、两个衍射光栅、七个平柱透镜、两个线阵光电耦合器、3dB-耦合器、分光镜、纵向微动工作台、横向微动工作台、数据采集卡、信号发生器、驱动控制、计算机和结果输出组成；利用拍波光片扫描被测表面，一个线阵光电耦合器探测拍波干涉信号，使量程为半拍波波长，另一线阵光电耦合器探测单波长干涉信号来决定分辨率，使系统有大量程及高分辨率。调节拍波波长，可得不同量程。只需一维扫描即完成表面三维测量，简化了机构，提高了测量速度。共路干涉使系统有强抗干扰性，适合在线测量。