1.掺铝钛氧化锌靶材的制备方法,包括以下步骤:
a、将氧化铝、二氧化钛和氧化锌均匀分散到水中,混合球磨2~6h,得到浆料;所述浆料
的固相体积分数为45~75%;所述浆料的pH值控制在6.0~10;所述氧化锌、氧化铝和二氧
化钛的质量比为96~99︰1~3︰0.2~2.5;所述氧化铝、二氧化钛和氧化锌的D90为1~10微
米;所述的均匀分散时,需要使用分散剂;所述的分散剂为聚乙烯醇、聚羧酸盐、聚丙烯酸盐
或羧甲基纤维素盐中的至少一种;所述分散剂的添加量分别为浆料质量的0.001%~
0.01%;
b、将甲基丙烯酰胺和聚乙二醇二甲基丙烯酸分散到浆料中,并搅拌或球磨1~3h;所述
甲基丙烯酰胺的添加量为浆料质量的0.05%~2.0%;聚乙二醇二甲基丙烯酸的添加量为
浆料质量的0.05%~2.0%;
c、向b步骤得到的浆料中再加入催化剂和引发剂,并搅拌0.25~1h;然后用无水乙醇除
泡;所述的催化剂为N,N,N’,N’-四甲基乙二胺;所述的引发剂为过硫酸铵;所述催化剂和引
发剂的添加量分别为氧化铝、二氧化钛和氧化锌质量总和的0.05%~0.50%;
d、将除泡的浆料注入无孔模具,干燥直至能够脱模,得到掺铝钛氧化锌靶材坯体;
e、将掺铝钛氧化锌靶材坯体从室温加热进行烧结,随炉冷却,得到掺铝钛氧化锌靶材;
所述烧结的升温步骤为:50~80min从室温升温至100℃;50~80min从100℃升温至240℃,
在240℃保温120~150min;120~300min从240℃升温至500℃,在500℃保温120~180min;
120~300min从500℃升温至800℃;120~300min从800℃升温至1000℃,在1000℃保温120
~180min;120~300min从1000℃升温至1200℃;120~300min从1200℃升温至1400℃,在
1400℃保温180~240min。
2.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法,其特征在于:步骤c所述无水
乙醇的添加量为加入了催化剂和引发剂之后总质量的0.05%~0.2%。
3.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法,其特征在于:步骤d所述干燥
的温度为16~30℃。
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