太赫兹波段低损耗系数镁钛锌系统陶瓷及其制备方法

本发明公开了一种太赫兹波段（0.3~1.0THz）低损耗系数镁钛锌系统陶瓷，其组分及其原料重量百分比为:42-52%4MgCO·Mg(OH)·5HO、4-8%TiO、45-47%ZnO。制备过程中先在1190℃制备熔块，经二次球磨后，于1340~1360℃烧成MgO-TiO-ZnO系统陶瓷。本发明折射率n为4.13，低损耗系数α＜10cm，其低损耗系数及高可靠性能够用于透镜、滤波器等太赫兹器件的制备。

1.一种太赫兹波段低损耗系数MgO-TiO₂-ZnO系统陶瓷，其特征在于，其组分及其原料重量百分比为42--52% 4MgCO₃·Mg(OH) ·5H₂O、4--8% TiO₂、45--47% ZnO。2.一种权利要求1的太赫兹波段低损耗系数MgO-TiO₂-ZnO系统陶瓷的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将原料按重量百分比42--52% 4MgCO₃·Mg(OH) ·5H₂O、4--8% TiO₂、45--47% ZnO配料；（2）将步骤（1）的配料进行混合，放入球磨罐中，加入氧化锆球和去离子水，球磨4.5小时，将球磨后的原料于红外干燥箱中110℃烘干，过250孔/cm²分样筛；（3）将步骤（2）中粉料先按3℃/min的升温速率加热至500℃，再按3~4℃/min的升温速率加热至1190℃，制得预烧熔块；（4）将步骤（3）的熔块在玛瑙研钵中研磨粉碎成粉末，放入球磨罐中，加入氧化锆球和去离子水，继续球磨5小时，于110℃干燥，过250孔/cm²分样筛，加入6~7wt%石蜡造粒，在80Mpa压强下压制生坯；（5）将步骤（4）的胚体先按3℃/min的升温速率加热至500℃，再按3~4℃/min的升温速率加热至1340~1360℃烧结，保温4小时，冷却后制得陶瓷介质；（6）测试步骤（5）的MgO-TiO₂-ZnO陶瓷的太赫兹波段的电磁性能。3.根据权利要求1的一种太赫兹波段低损耗系数MgO-TiO₂-ZnO系统陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）的原料4MgCO₃·Mg(OH) ·5H₂O、TiO₂和ZnO的纯度大于99.9%。4.根据权利要求1的一种太赫兹波段低损耗系数MgO-TiO₂-ZnO系统陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）胚体为Ф10mm×0.5mm的圆柱体。5.根据权利要求1的一种太赫兹波段低损耗系数MgO-TiO₂-ZnO系统陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤（6）的测试系统为宽带 8-F 共焦式太赫兹时域光谱测试系统。