硅片传输机器人

硅片传输机器人是集成电路（IC）制造装备中的重要设备，也是IC制造装备中的关键技术。本硅片传输机器人的特点是高精度、高速度、高洁净，可满足半导体制造业中高精度、高净化的环境要求，控制系统采用基于PC平台、具有开放式体系结构和网络功能的机器人控制器。硅片传输机器人的技术指标已达到国外同类产品的水平。 该技术项目开发的硅片传输机器人系列化产品为极坐标型机器人（R-θ型径向直线运动机器人)，由单臂型机器人和双臂型机器人二个系列产品组成。R-θ型硅片传输机器人有3个运动范围，分别为R轴（径向)、θ轴（旋转）和Z轴（升降)，末端执行器可自动翻转。R轴、θ轴、Z轴分别为交流伺服电机驱动，末端执行器为翻转气缸驱动，抓取工件为真空吸附。硅片夹持范围为 100mm- 300mm，负载为200g,位置重复精度Z轴为±0.02mm，θ轴为±0.01°,R轴为±0.05mm，硅片的夹持方式包括真空夹持和边缘夹持。净化等级为10级。