磁功能薄膜材料及其在高灵敏度传感器中的应用技术

本技术开发的磁传感器工作温度范围宽（-40～+200C）、磁阻效应高（5～50%）、信号温度系数低（-0.1%/K）、有效敏感单元尺寸小（<0.1mm2），具有功耗小、可靠性高、体积小、能工作于恶劣环境等现有传统传感器所不能相比的优点。高灵敏度磁传感器集磁功能薄膜材料技术、纳米技术与半导体集成技术于一身。由于其对磁场、温度、电压电流、应力应变、压力等的变化敏感，可用于非接触式位置测量、加速度测量、角度测量、速度测量、电流测量、应力应变测量、压力测量以及生物芯片等。