具有芯片外控制器的存储器装置及其制造方法

本发明公开了一种集成电路存储器装置及其制造方法，适用于低成本的工艺，该装置包括一存储器电路以及一外围电路。装置的存储器电路以及外围电路是实现于叠层结构的不同层。存储器电路层以及外围电路层包括互补的互连表面，通过存储器电路以及外围电路彼此互补的互连表面的匹配，可以建立电性互连。存储器电路层以及外围电路层可以在不同的生产线上，使用不同的工艺方式，分别地形成于不同的衬底上。如此的制造方式，使得存储器电路层以及外围电路层得以分别使用独立的工艺设备技术来制造，一种工艺技术用于存储器阵列的制造，另一种工艺技术则用于外围电路的制造。这些独立的电路可接着被叠层并接合在一起。