感应加热装置及感应加热方法

本发明提供感应加热装置，其在大直径化的晶片的加热中采用批量型的加热方式，且能够进行高精度的均等加热。感应加热装置10，其通过由螺线管型的感应加热线圈18产生的磁通来加热被感应加热构件，通过该被感应加热构件的发热来加热晶片40，其特征在于，使多个被感应加热构件1414a、14b、14c散布配置成主面垂直于感应加热线圈18的轴心方向。在具有这种特征的感应加热装置10中，在由具备透磁性及热传递性的构件构成的一个支架16中容纳被感应加热构件14而构成基座12。