占用传感器

一种用于制作传感器装置（100；200；300；400）的方法，该传感器装置包括一起整合在一个半导体载体（10）中的热传感器（23）、蓄电池（33）、天线（34）、电子电路系统（22）和太阳能电池（43），该方法包括下述步骤：提供硅晶片（10），其具有两个主表面（11、12）；在一个主表面（11）中制作第一功能层（20），其包括热传感器部分（21）并且包括与该热传感器部分按照不交叠关系布置的电子电路系统（22）；与该热传感器部分按照不交叠关系布置第二功能层（30），其包含蓄电池（33）和天线（34）；与该热传感器部分按照不交叠关系布置第三功能层（40），其含有一个或多个太阳能电池（43）；移除该传感器部分（21）下方的部分晶片。