光驱动双轴光学扫描探针

一种光驱动双轴光学扫描探针，它包括扫描微镜，微光电系统和硅光学平台，其中扫描微镜包括微驱动器、平面弹簧和可动镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、4个平面弹簧和4个微驱动器，可动镜片与4个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；微光电系统包括单模光纤、自聚焦透镜、2片滤光片和2片光电池；经过微光电系统传输和聚焦的入射光束经扫描微镜偏转90度后垂直入射到成像目标，由成像目标反射回来的光束经扫描微镜偏转90度后由微光电系统收集并传输到外部光学成像系统。