声体波压电薄膜换能器双面光刻制作方法

本发明涉及声体波压电薄膜换能器双面光刻制作方法，步骤为：1根据设计的底电极、压电膜和上电极各层的电极图形，制作底电极双面光刻掩膜版、套刻用压电膜和上电极掩膜版；2在传声介质两端形成底电极金属薄膜；3在底电极金属薄膜上双面光刻底电极图形；4在传声介质两端溅射压电薄膜；5在传声介质两端蒸发或溅射上电极薄膜；6套刻制作压电膜图形；7套刻制作上电极图形。本发明解决了机械掩模小尺寸图形无法制版，以及制作图形不规范，精度差等问题，使掩膜版的精度、电极图形的一致性可达到微米量级，传声介质尺寸范围大，可实现2mm～90mm范围内两端准直精度高，准直度可小于5微米。