电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺

本发明公开了一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺，其特征在于：它包括下述步骤：第一步骤，选取耐高温石英片和单晶Si片作衬底，清洗吹干；第二步骤，将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料；第三步骤，按上述步骤得到的不同配比镀料，在衬底上蒸镀一层Fe‑Si混合薄膜；第四步骤，将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800～900℃退火2小时获得Fe‑Si化合物中的金属相Fe3Si铁磁性薄膜。

1.一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe₃Si薄膜的工艺，其特征在于：它包括下述步骤：第一步骤，选取耐高温石英片或单晶Si片作衬底，清洗吹干；第二步骤，将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料；第三步骤，按上述步骤得到的不同配比镀料，在衬底上蒸镀一层Fe-Si混合薄膜；第四步骤，将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800～900℃退火2小时获得Fe-Si化合物中的金属相Fe₃Si铁磁性薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe₃Si薄膜的工艺，其特征在于：在所述第二步骤中，铁颗粒和硅颗粒以各原子百分比2.5:1-3.5:1按照总质量为0.8克换算成相应的质量百分比称量配比。
3.根据权利要求1所述的一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe₃Si薄膜的工艺，其特征在于：在所述第三步骤镀料的放置中，磨细硅颗粒先铺在蒸发钨舟底层，相应配比的铁颗粒铺在硅颗粒上面；蒸镀室真空度小于等于8.0×10^-4Pa，蒸发电流90-110A，直至蒸发钨舟中的材料蒸发完全。
4.根据权利要求1所述的一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe₃Si薄膜的工艺，其特征在于：在所述第四步骤中，高真空热处理炉真空度达到8.0×10^-4Pa后升温，退火温度为 800～900℃，退火时间为2小时。
5.根据权利要求4所述的一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe₃Si薄膜的工艺，其特征在于：整个退火过程真空度不低于2.0×10^-3Pa。